종이처럼 얇은 '마법 렌즈'로 반도체 결함 잡는다

포스텍(포항공대)은 3일 기계공학과·화학공학과·전자전기공학과 노준석 교수, 기계공학과 통합과정 김주훈 씨 연구팀이 반도체 산업에서 검사 장비의 혁신을 가져올 ‘마법의 렌즈’ 기술을 개발했다고 밝혔다. 반도체 제조의 핵심은 눈에 보이지 않을 정도로 매우 작은 미세한 결함을 찾는 것이다. 이를 위해 자외선부터 가시광까지 다양한 파장의 빛을 사용하는데,